Bằng kỹ thuật bốc bay chùm tia điện tử kết hợp tái kết tinh trong môi trường ôxy áp suất cỡ 10-2 Torr đã chết tạo màng mỏng VO2 micro và nano có nhiệt độ chuyển pha bán dẫn kim loại tương ứng. Nghiên cứu cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang cho thấy tại nhiệt độ chuyển pha BDKL điện trở suất của màng mỏng giảm đến ba bậc, phổ truyền qua và phản xạ cũng thay đổi đáng kể. Màng mỏng VO2 cấu trúc nano được phủ lên đầu sợi quang dùng để làm đầu cảm biến nhiệt quang
http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/21978
